Studentische Arbeit

In-situ Charakterisierung von PECVD Schichtspannungen

in Korrelation mit der Abscheidetemperatur mittels Lasererfassungssystem

Ziel deiner Arbeit ist die Ermittlung der Schichtspannungen während eines Plasmabeschichtungsprozesses.

Thema der Arbeit:

Dünne Schichten haben das Potential, Mehrstoffbarrieren in der Kunststofftechnik zu ersetzen. Damit können recyclingfähige Verpackungen realisiert werden. Bei der Abscheidung dünner Schichten mittels Plasmaprozessen entstehen u.a. Schichtspannungen, die die Eigenschaften der Schichten stark beeinflussen. Daher ist die Charakterisierung der Spannungen ein wichtiger Schritt zum Verständnis des mechanischen Verhaltens dünner Schichten auf Kunststoffsubstraten und zur Entwicklung umweltfreundlicher Verpackungen.


Stuwi Konzeptentwicklung Probenhalter© IKV
Plasmabeschichtung eines Kunststoffbehälters

Zielsetzung:

Ziel deiner Arbeit ist es, es möglich zu machen, während des PECVD Beschichtungsprozesses die Schichtspannungen der sich abscheidenden Schichten mittels eines Lasererfassungssystems zu messen.

Es sollen die gemessenen Schichtspannungen in Abhängigkeit der Substrattemperatur mit den Prozessparametern korreliert werden. Diese Daten werden dabei helfen die Vorgänge, während des PECVD Beschichtungsprozess besser zu verstehen und die Entwicklung von PECVD Beschichtungen zu vereinfachen.

Deine Aufgabenstellung:

Erarbeitung des Standes der Technik Erarbeitung einer Methode zur Erfassung der Schichtspannungen in Echtzeit
Aufbau eines Lasermesssystems am Reaktor anhand eines vorhandenen Konzepts Überführung der Ergebnisse in ein geeignetes Simulationsmodell
Erarbeitung eines Versuchsplans
Auswertung, Interpretation und Korrelation der Ergebnisse

Dein Profil:

  • Du hast Erfahrung und Interesse am experimentellen Arbeiten
  • Du möchtest dich in einem dynamischen Team in aktueller Forschung weiterentwickeln
  • Du bist motiviert und hast ein hohes Maß an Eigeninitiative
  • Idealer Weise hast du Erfahrung mit Lasermesstechnik (nicht zwingend)

Falls du Fragen oder bereits Interesse an dieser Abschlussarbeit am IKV hast, bewirb dich.