Bachelorarbeit und Masterarbeit
Thema der Arbeit:
In der idealen Welt beschichtet ein PECVD-Prozess nur das Substrat. In der Praxis kommen allerdings sogenannte parasitäre Beschichtungen, die sich an unerwünschten Stellen ablagern, wie z. B. auf Gaszuführungen, Dichtungen oder Pumpenteilen, vor. Diese unerwünschten Ablagerungen, die das System verstopfen oder gar gefährlich abplatzen können, senken die Wirtschaftlichkeit des umweltfreundlichen PECVD Prozesses erheblich.
Die Arbeit hat Bezug zu diesem Forschungsprojekt:
Das DFG-Projekt „ParaCoat“ (516258996) untersucht parasitäre Beschichtungen, die im PECVD-Prozess ungewollt an Anlageteilen entstehen. Ziel ist es, diese Abscheidungen systematisch zu charakterisieren und in Kooperation mit einem Industriepartner Gegenmaßnahmen zu entwickeln. Damit soll die Prozessstabilität erhöht und die Lebensdauer der Anlagen verlängert werden.
Deine Aufgabenstellung:
| Für eine Bachelorarbeit bearbeitest du folgende Aufgabenstellungen | Für eine Masterarbeit bearbeitest du zusätzlich folgende Aufgabenstellungen |
| Literaturrecherche zum Thema parasitäre Schichten und Prozessalterung bei PECVD | Erweiterte Literaturrecherche |
| Erstellung, Durchführung und Auswertung eines Versuchsplans zur Messung der Schichtabscheiderate mittels QCM | Untersuchung der Schichten mittels FESEM und EDX |
| Ableitung von Konstruktionsprinzipien für Industrielle Reaktoren | Weiterentwicklung und Anwendung eines Modells für die Vorhersage von Schichtabscheideraten |
Dein Profil:
- Technisches oder naturwissenschaftliches Studium (Maschinenbau, Verfahrenstechnik, Materialwissenschaften, Physik, …)
- Erfahrungen mit praktischen Versuchen sind hilfreich
- Eigenständiges Bearbeiten von komplexen Problemstellungen
- Interesse am Umgang mit experimenteller Anlagentechnik
Mit der Arbeit kann sofort begonnen werden. Wenn du Interesse hast, dann melde dich einfach bei mir!