Bachelorarbeit, Masterarbeit oder Forschungslabor
© IKVThema der Arbeit:
Die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) ist ein etabliertes Verfahren zur Herstellung funktioneller Dünnschichten für zahlreiche Anwendungen in Industrie und Forschung. Die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten werden dabei maßgeblich durch die verwendete Plasmaquelle beeinflusst. In einem Forschungsumfeld bietet eine sogfältig entwickelte Plasmaquelle das Potential die Reproduzierbarkeit der Forschungsergebnisse enorm zu erhöhen. Plasmakonzepte bieten zudem das Potenzial, die Prozesseffizienz zu steigern, die Schichtqualität zu verbessern und neue Anwendungsfelder zu erschließen.
Im Rahmen dieser Arbeit soll eine neuartige Plasmaquelle für den Einsatz in PECVD-Reaktoren entwickelt, aufgebaut und untersucht werden. Dabei stehen die Auslegung der Plasmaquelle, deren Integration in eine bestehende Beschichtungsanlage sowie die experimentelle Charakterisierung des erzeugten Plasmas im Fokus. Ziel ist es, die Eignung des Konzepts für zukünftige Beschichtungsprozesse zu bewerten und die Grundlagen für eine weiterführende Prozessentwicklung zu schaffen.
Die Arbeit wird in dieser Arbeitsgruppe verfasst:
Die Arbeit erfolgt in der Arbeitsgruppe Plasma- und Oberflächentechnik. Die Forschungsaktivitäten der Arbeitsgruppe umfassen die Entwicklung plasmagestützter Beschichtungsverfahren, die Charakterisierung von Plasmen sowie die Untersuchung funktioneller Dünnschichten und Oberflächen.
Zielsetzung:
Ziel der Arbeit ist die Entwicklung und experimentelle Untersuchung einer Plasmaquelle für PECVD-Anwendungen. Hierzu sollen geeignete Konstruktions- und Betriebsparameter identifiziert, die Plasmaeigenschaften analysiert und die Einsatzmöglichkeiten der Plasmaquelle für Beschichtungsprozesse bewertet werden.
Deine Aufgabenstellung:
| Für eine Bachelorarbeit bearbeitest du folgende Aufgabenstellungen: | Für eine Masterarbeit könntest du zusätzlich folgende Aufgabenstellungen bearbeiten: |
| Recherche zum Stand der Technik von Plasmaquellen für Niederdruck- und Atmosphärendruckplasmen | Numerische oder analytische Betrachtung relevanter Hochfrequenzeigenschaften |
| Konzeption und konstruktive Auslegung einer Plasmaquelle | Optimierung der Plasmaquellengeometrie und Betriebsparameter |
| Unterstützung beim Aufbau und der Integration in einen PECVD-Reaktor | Untersuchung des Einflusses der Plasmaquelle auf Schichtwachstum und Schichteigenschaften |
| Experimentelle Untersuchung und Charakterisierung des Plasmas | |
| Analyse und Dokumentation der Ergebnisse |
Dein Profil:
- Naturwissenschaftliches oder technisches Studium (Physik, Werkstoffwissenschaft, Maschinenbau, Mathematik, etc.)
- Interesse an Plasmaphysik, Vakuumtechnik und experimenteller Forschung
- Selbstständige und strukturierte Arbeitsweise
- Freude an praktischer Entwicklungsarbeit sowie dem Umgang mit Mess- und Anlagentechnik
- Erfahrungen in der Plasma- und Vakuumtechnik sind von Vorteil, aber keine Voraussetzung
Mit der Arbeit kann sofort begonnen werden. Wenn du Interesse hast, dann melde dich einfach!