Bachelorarbeit, Masterarbeit oder Forschungslabor
© IKVThema der Arbeit:
Die plasmagestützte Atomlagenabscheidung (Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition, PEALD) ermöglicht die Herstellung ultradünner, hochqualitativer Schichten mit exzellenter Konformität und präziser Schichtdickenkontrolle. Aufgrund dieser Eigenschaften gewinnt das Verfahren zunehmend an Bedeutung für Anwendungen in der Oberflächenmodifikation, Barrierebeschichtung sowie in energie- und mikroelektronischen Systemen.
Im Rahmen dieser Arbeit soll ein neuartiger PEALD-Reaktor erstmals in Betrieb genommen und hinsichtlich seiner Prozessfähigkeit untersucht werden. Dazu gehören die Einrichtung und Optimierung der Anlagentechnik, die Entwicklung geeigneter Prozessparameter sowie die Abscheidung und Charakterisierung erster Schichtsysteme. Ziel ist es, die Grundlagen für einen zuverlässigen und reproduzierbaren Betrieb des Reaktors zu schaffen und dessen Potenzial für zukünftige Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zu bewerten.
Die Arbeit wird in dieser Arbeitsgruppe verfasst:
Die Arbeit erfolgt in der Arbeitsgruppe Plasma- und Oberflächentechnik. Der Forschungsschwerpunkt der Arbeitsgruppe liegt auf der Entwicklung, Optimierung und Charakterisierung plasmagestützter Beschichtungsverfahren sowie der Untersuchung funktioneller Oberflächen und dünner Schichten.
Zielsetzung:
Ziel der Arbeit ist die erfolgreiche Inbetriebnahme eines neuartigen PEALD-Reaktors sowie die Entwicklung und Bewertung erster Beschichtungsprozesse. Dabei sollen geeignete Prozessfenster identifiziert, die Reproduzierbarkeit der Schichtabscheidung untersucht und die erzeugten Schichten hinsichtlich ihrer wesentlichen Eigenschaften charakterisiert werden.
Deine Aufgabenstellung:
| Für eine Bachelorarbeit bearbeitest du folgende Aufgabenstellungen: | Für eine Masterarbeit könntest du zusätzlich folgende Aufgabenstellungen bearbeiten: |
| Recherche zum Stand der Technik im Bereich PEALD und plasmagestützter Dünnschichtabscheidung | Untersuchung des Einflusses von Prozessparametern auf Schichteigenschaften |
| Unterstützung bei der Inbetriebnahme und Qualifizierung des Reaktors | Bewertung von Prozessreproduzierbarkeit und Korrosionsbeständigkeit |
| Entwicklung und Optimierung erster Abscheideprozesse | Untersuchung der chemischen Zusammensetzung einzelner Schichten mittels TOF-SIMS, FT-IR und EDX |
| Herstellung und Charakterisierung von Dünnschichten | |
| Auswertung und Dokumentation der experimentellen Ergebnisse |
Dein Profil:
- Naturwissenschaftliches oder technisches Studium (Physik, Werkstoffwissenschaft, Maschinenbau, Mathematik, etc.)
- Eigenständiges Bearbeiten von komplexen Problemstellungen
- Erfahrungen in der Oberflächen- oder Beschichtungstechnik sind von Vorteil, aber keine Voraussetzung
- Interesse an praktischen Versuchen und dem Umgang mit experimenteller Anlagentechnik
Mit der Arbeit kann sofort begonnen werden. Wenn du Interesse hast, dann melde dich einfach!